半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測儀

產(chǎn)品簡介
半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測儀利用亮場和暗場顯微成像技術(shù)，通過自動化的圖像捕捉以及人工智能分析工具，為晶圓表面缺陷的檢測提供了快速且高效的解決方案。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-06-24

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

光譜系統(tǒng)

顯微缺陷膜厚半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測儀高光譜測試系統(tǒng) 瞬態(tài)吸收系統(tǒng) 太陽能電池量子效率太陽光模擬器IV系統(tǒng) 顯微光電流成像系統(tǒng) 探測器光響應(yīng)度系統(tǒng) 光譜變溫附件探針臺拉曼SERS增強(qiáng)試劑顯微熒光系統(tǒng) 組合熒光系統(tǒng) 鏡頭透過率測試系統(tǒng) 漫反射率測試系統(tǒng) 反射、吸收率系統(tǒng) 成像亮度計(jì) 標(biāo)準(zhǔn)燈參考輻射定標(biāo) 電致發(fā)光系統(tǒng) 常規(guī)發(fā)射光譜系統(tǒng) 共聚焦拉曼光譜儀

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半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測儀

半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測儀1.png 半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測儀2.png

半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測儀這款高度集成的桌面儀器利用亮場和暗場顯微成像技術(shù)，通過自動化的圖像捕捉以及人工智能分析工具，為晶圓表面缺陷的檢測提供了快速且高效的解決方案。設(shè)備主要用于檢測如襯底片和外延片的缺陷，包括位錯、顆粒、凹坑、劃痕和污染等類型的瑕疵，并且可以根據(jù)客戶的需求進(jìn)行定制服務(wù)

光學(xué)成像系統(tǒng)：

10X 遠(yuǎn)場消色差長工距顯微鏡頭

0.8X 擴(kuò)視野相機(jī)轉(zhuǎn)接鏡筒

500萬像素采集相機(jī)

LED同軸反射光源

輔助自動聚焦激光傳感器

自動運(yùn)動平臺：包括4寸，6寸和8寸Wafer載物臺夾具1套

計(jì)算機(jī)系統(tǒng)

上一個：ELSZ-2000系列ZETA電位 · 粒徑 · 分子量測試系統(tǒng)