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LBIC-S1光電流 IV/IT/ 成像測(cè)試系統(tǒng)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

微納光電成像測(cè)試系統(tǒng)是一種利用顯微成像手段,通過不同波長激光進(jìn)行探測(cè),分析表征光電子器件的短路電流分布,表面缺陷, 反射率等參數(shù)。并通過掃描獲得的圖像,分析各種參數(shù)的平面均勻性,為光電器件的結(jié)構(gòu)優(yōu)化提供參考。激光通由顯微鏡聚焦到樣品表面,激光激發(fā)樣品產(chǎn)生光電流,光電流信號(hào)通過探針引出至電流源表,再通過軟件讀出。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2025-07-29
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
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微納光電成像測(cè)試系統(tǒng)是一種利用顯微成像手段,通過不同波長激光進(jìn)行探測(cè),分析表征光電子器件的短路電流分布,表面缺陷, 反射率等參數(shù)。并通過掃描獲得的圖像,分析各種參數(shù)的平面均勻性,為光電器件的結(jié)構(gòu)優(yōu)化提供參考。激光通由顯微鏡聚焦到樣品表面,激光激發(fā)樣品產(chǎn)生光電流,光電流信號(hào)通過探針引出至電流源表,再通過軟件讀出。掃描時(shí),通過電動(dòng)位移臺(tái)的移動(dòng),激光的光斑在樣品的 XY 方向上掃描移動(dòng), 軟件記錄每一個(gè)激光聚焦光斑的位置和其對(duì)應(yīng)的電流值,在軟件上同步描繪出光電流成像圖,顯示了樣品的電流分布。

技術(shù)參數(shù)

激光器(光源)標(biāo)配532nm激光器,能量穩(wěn)定性1%@4小時(shí)
顯微鏡模塊反射式/透射式LED照明

物鏡:標(biāo)配(20X, WD=7.5mm) 超長工作距離 最大掃描范圍:260 x 200 μm (20x物鏡下) 位置重復(fù)性:小于1 μm

最小掃描步長:0.2μm  激光光斑:2μm

數(shù)據(jù)采集電流源表:Keithley 2450

測(cè)量范圍:1nA ? 1A 暗噪聲:50pA 分辨率:20fA

探針臺(tái)模塊直徑65mm真空吸附卡盤 探針座和樣品整體二維移動(dòng),樣品位置單獨(dú)二維移動(dòng),樣品位置移動(dòng)行程25mm,分辨率5μm 探針座:XYZ行程12mm,分辨率0.7μm 探針:鎢針,直徑5μm,10μm,20μm可選
軟件光電流掃描(Mapping):可以設(shè)定固定的電壓,逐點(diǎn)獲取電流值

I-V曲線掃描(Mapping):可以設(shè)定指定的電壓區(qū)間,逐點(diǎn)獲取I-V曲線 指定區(qū)域掃描(Mapping)

光譜響應(yīng)度測(cè)試(選配)光譜范圍200-1100nm,可以擴(kuò)展到2500nm

光譜響應(yīng)度曲線 量子效率曲線 偏壓設(shè)置功能

激光器(選項(xiàng))波長:405nm或者635nm可選,其他波長咨詢銷售

能量穩(wěn)定性:小于1%@2個(gè)小時(shí) 功率:10mW和30mW(可選)

測(cè)試案例:

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